单晶炉热场结构是什么?

作者:jcshimo 发布时间:2023-09-25 17:13:30

        在太阳能光伏工作,的好坏直接关系到单晶硅的质量,合格的热场能够生长出高质量的单晶,因而发明超卓的热场条件,在直拉单晶工艺上有非常重要的要素。石墨是单晶生长的载体,石墨在直拉单晶生长炉中以高纯石墨和等静压石墨加工件为主。
    依据实际状况的需求,热场的大小依据石英坩埚的直径大小来区别的,目前我国热场从φ12"~φ28"都有,一般状况下φ18"~φ22"居多。
    我们在这里所讲的单晶炉的热体系便是所谓的热场,热场一般包含压环、保温盖、上中下保温罩、(三瓣式)石墨坩埚、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,未来避免漏硅,炉底、金属电极、托杆都设置了保护板和保护套。
1、加热器
    加热器是热场中很重要的部件,是直接发热体,温度较高的时分能够抵达1600度以上。常见的加热器有三种形状,筒状、杯状、螺旋状。一般状况下,加热器选用的高纯石墨加工。
2、石墨电极
     石墨电极的作用平稳固定加热器并经过他岁加热器运送电流。因而在电极要厚重,健壮耐用、外表要光滑平稳,确保超卓的触摸面,通电时不打火,石墨电极也是有高纯石墨加工的。
3、石墨坩埚、石墨托杆、石墨托盘
    坩埚托杆、坩埚和托盘一同构成了石墨坩埚的支撑体,要求和下轴结合健壮,对中性超卓不才轴进行转动时,托杆及托盘的摆渡小于等于0.5mm石墨支撑体的高度是能够调度的。
4、保温罩
    保温罩分为上、中、下保温罩,保温罩是由一个保温筒外面包裹石墨碳毡而成,石墨碳毡的包裹的层数依据状况而定。下保温罩组成了底部的保温体系,它作用是加强锅底保温,进步埚底温度,减少热量损失。
5、保温盖、导流筒
    保温盖有保温上盖、保温碳毡和保温下盖组成,即两层环状石墨之间夹一层石墨碳毡组成。导流筒主要是未来控制热场的温度梯度和引导氩气流。
6、压环
    石墨压环由几截弧形构成的圆形环状石墨件,放置在盖板与炉壁触摸处,是为了避免热量和气体从壁炉与盖板的缝隙间的经过。