半导体烧结石墨载具加工

作者:jcshimo 发布时间:2024-06-24 10:18:49

半导体烧结石墨载具的加工进程触及多个关键步骤,以保证其高精度、高质量以及适用于半导体烧结工艺的特性。以下是加工进程的详细步骤:

一、石墨质料的挑选与处理

  1. 质料挑选:挑选结晶度高、杂质少、粒度均匀的石墨颗粒作为质料,以保证制品的功能。
  2. 预处理:对石墨质料进行清洗、枯燥等预处理,以去除杂质和水分,为后续的加工进程做好预备。

二、混合与造粒

  1. 配料:将石墨质料与适量的粘结剂、润滑剂等混合,依照必定份额进行配料。
  2. 混合:经过拌和、捏合等工序,将配料混组成均匀的混合料。混合进程中需注意控制温度和湿度,避免结块和分层现象。
  3. 造粒:将混合后的石墨颗粒经过造粒机处理,构成必定形状和大小的颗粒,以便于后续的成型和烧结。

三、成型

  1. 模具预备:预备相应的模具,保证模具的清洁和尺度的准确性。
  2. 成型:将造粒后的石墨颗粒放入模具中,在必定的压力和温度下进行成型。成型进程中要坚持模具的清洁和尺度的准确性,以保证制品的尺度和形状符合要求。
  3. 脱模与整理:成型后的坯体需求进行脱模、整理等工序,以去除剩余的杂质和毛刺。

四、烧结

  1. 烧结预备:将成型后的坯体放入烧结炉中,进行必要的预热处理。
  2. 烧结:在必定的温度和时刻下,对坯体进行烧结,以提高其致密度和安稳性。烧结温度和时刻是影响制品功能的重要因素,需求严格控制。
  3. 冷却与回火:烧结后的制品需求进行冷却和回火处理,以安稳其组织和功能。

五、后处理

  1. 外表处理:对烧结后的制品进行外表处理,如机械研磨、化学抛光等,以提高其外表光洁度和耐腐蚀性。
  2. 质量检测:对加工完成的半导体烧结石墨载具进行质量检测,包含外观、尺度、密度、硬度、导热性等指标,保证其功能符合要求。

六、包装与存储

  1. 包装:将检测合格的半导体烧结石墨载具进行包装,以保护其外表免受损坏。
  2. 存储:将包装好的半导体烧结石墨载具存放在枯燥、通风的环境中,避免受潮和污染。

总结来说,半导体烧结石墨载具的加工进程是一个复杂的系统工程,触及质料挑选、混合造粒、成型、烧结、后处理以及质量检测等多个环节。经过严格的工艺流程和质量控制,能够生产出满意半导体烧结工艺要求的高质量石墨载具。

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